发明名称 PROCEDIMENTO PER L INTRODUZIONE PRESTABILITA DI SOSTANZE DI DROGAGGIO IN CRISTALLI DI MATERIALE SEMICONDUTTORE DURANTE LA FUSIONE A ZONE PROGRESSIVE SENZA CROGIUOLO
摘要
申请公布号 IT1058513(B) 申请公布日期 1982.05.10
申请号 IT19760021521 申请日期 1976.03.24
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 C30B13/10;H01L21/208;(IPC1-7):C30B/ 主分类号 C30B13/10
代理机构 代理人
主权项
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