| 发明名称 |
MESS-SYSTEM IN VAKUUM-BESCHICHTUNGSANALGEN ZUR STEUERUNG UND MESSUNG DER STAERKE OPTISCH WIRKSAMER DUENNSCHICHTEN UND FOTOMETER ZUM EINSATZ IN EINEM SOLCHEN MESS-SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT366505(B) |
申请公布日期 |
1982.04.26 |
| 申请号 |
AT19770004349 |
申请日期 |
1977.06.20 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
SCHWIECKER HORST DR.;THORN GERNOT DIPL.ING.;EHRL HANS-PETER |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):G05D5/02;G01J1/16 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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