发明名称 VORRICHTUNG ZUM MESSEN DES GRADS AN EBENHEIT EINER OBERFLAECHE EINER PLATTE
摘要
申请公布号 DE3133477(A1) 申请公布日期 1982.04.08
申请号 DE19813133477 申请日期 1981.08.25
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 AKIYAMA,NOBUYUKI;KEMBO,YUKIO;NAKAGAWA,YASUO
分类号 G01B5/28;G01B7/34;G01B11/30;G01B21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B5/28
代理机构 代理人
主权项
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