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发明名称
METHOD FOR ENHANCING SPEED OF POWERFUL SILICON SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
SU774464(A1)
申请公布日期
1982.03.30
申请号
SU19792764880
申请日期
1979.05.15
申请人
FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE
发明人
GREKHOV I.V.,SU;DELIMOVA L.A.,SU
分类号
H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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