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发明名称
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摘要
申请公布号
JPS5752071(A)
申请公布日期
1982.03.27
申请号
JP19800127179
申请日期
1980.09.16
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
SADAMASA TETSUO;ICHIKAWA OSAMU
分类号
G09F9/33;H01L33/30;H01L33/56;H01L33/62
主分类号
G09F9/33
代理机构
代理人
主权项
地址
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