发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG UND DURCH DIESES VERFAHREN HERGESTELLTE HALBLEITERANORDNUNG.
摘要
申请公布号 CH628756(A5) 申请公布日期 1982.03.15
申请号 CH19780006651 申请日期 1978.06.19
申请人 FASELEC AG 发明人 HANS RUDOLF NEUKOMM
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/78;(IPC1-7):01L21/308;01L21/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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