发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PRECISELY POSITIONING AN OBJECT DRIVEN BY A GEAR TRAIN
摘要
申请公布号 AU7292881(A) 申请公布日期 1982.03.02
申请号 AU19810072928 申请日期 1980.08.11
申请人 MOSTEK CORPORATION 发明人 D.L. HXAMER;R.H. BOND
分类号 B23Q5/56;B23Q16/02;H01L21/67 主分类号 B23Q5/56
代理机构 代理人
主权项
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