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发明名称 BOAT FOR USE IN A LIQUID PHASE EPITAXY GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2074469(A) 申请公布日期 1981.11.04
申请号 GB19810010988 申请日期 1981.04.08
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/208;C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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