发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR COMPORTANT DES TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP COMPLEMENTAIRES
摘要 <P>PROCEDE POUR LA FABRICATION D'UN DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR COMPORTANT DEUX REGIONS JUXTAPOSEES 12, 16 DE TYPES DE CONDUCTIVITE OPPOSES ET CONTIGUES A LA SURFACE, QUI FORMENT ENSEMBLE UNE JONCTION P-N 9 DE PREFERENCE PERPENDICULAIRE A LA SURFACE, ET DONT LA CONCENTRATION DE DOPAGE DIMINUE VERS LA SURFACE.</P><P>CONFORMEMENT A L'INVENTION ON FORME SUR UN SUBSTRAT SEMICONDUCTEUR 1 COTE A COTE DES COUCHES ENTERREES DE TYPE N ET DE TYPE P, SUR LESQUELLES ON FAIT CROITRE UNE COUCHE EPITAXIALE A RESISTIVITE ELEVEE. PAR CHAUFFAGE, LES DOPEURS DIFFUSENT A PARTIR DES COUCHES ENTERREES DANS TOUTE L'EPAISSEUR DE LA COUCHE EPITAXIALE ET DANS LE SUBSTRAT. PAR LE CHOIX D'ATOMES DONNEURS ET ACCEPTEURS APPROPRIES (PAR EXEMPLE DU BORE ET DU PHOSPHORE DANS LE SILICIUM), ON OBTIENT DANS LA COUCHE EPITAXIALE DES REGIONS DE TYPE N ET P 12, 16, QUI FORMENT UNE JONCTION P-N 9 PERPENDICULAIRE A LA SURFACE A LA SUITE DE LA COMPENSATION DES DIFFUSIONS LATERALES S'OPERANT A PARTIR DES COUCHES ENTERREES.</P><P>APPLICATION: FABRICATION DE DISPOSITIFS SEMICONDUCTEURS.</P>
申请公布号 FR2481518(A1) 申请公布日期 1981.10.30
申请号 FR19810008317 申请日期 1981.04.27
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人 PIETER JOHANNES WILHELMUS JOCHEMS
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/74 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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