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发明名称
摘要
申请公布号
JPS56137040(U)
申请公布日期
1981.10.17
申请号
JP19800036533U
申请日期
1980.03.18
申请人
发明人
分类号
G01K7/00;H01L29/74;(IPC1-7):G01K7/00
主分类号
G01K7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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