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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5643607(B2) 申请公布日期 1981.10.14
申请号 JP19730103026 申请日期 1973.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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