| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0028655(A4) |
申请公布日期 |
1981.09.21 |
| 申请号 |
EP19800900915 |
申请日期 |
1980.12.01 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
FUKUDA, TAKESHI;ICHINOSE, YOSHITO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/22;H01L21/3105;H01L21/331;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/31;H01L29/70;H01L21/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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