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发明名称
BLADE DIEING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS56111622(A)
申请公布日期
1981.09.03
申请号
JP19800013313
申请日期
1980.02.06
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
SATOU KAZUHIDE;KATOU TOSHIHIRO;YONEYAMA TAKESHI
分类号
H01L21/301;B28D1/22;H01L21/78
主分类号
H01L21/301
代理机构
代理人
主权项
地址
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