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发明名称
WAFER FEEDING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS56100440(A)
申请公布日期
1981.08.12
申请号
JP19800179047
申请日期
1980.12.19
申请人
VARIAN ASSOCIATES
发明人
JIYOOJI ERU KOODO;REIMONDO HAWAADO SHIYOU;MAACHIN ARUBAATO HATSUCHINSON
分类号
B65G1/00;B65G1/16;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/67;H01L21/677
主分类号
B65G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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