| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5694777(A) |
申请公布日期 |
1981.07.31 |
| 申请号 |
JP19800173938 |
申请日期 |
1980.12.11 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
HARITSUSHIYU NARANDASU KOTECHI;FURANSHISUKO HOMERO DERAMONEDA |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/10 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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