发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5693366(A) 申请公布日期 1981.07.28
申请号 JP19800171084 申请日期 1980.12.05
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP 发明人 JIYON BAATOKO;AARU SUTOOFUAA SHIYUREEGERU
分类号 H01L21/265;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/74 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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