发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5693366(A) |
申请公布日期 |
1981.07.28 |
申请号 |
JP19800171084 |
申请日期 |
1980.12.05 |
申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP |
发明人 |
JIYON BAATOKO;AARU SUTOOFUAA SHIYUREEGERU |
分类号 |
H01L21/265;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/74 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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