发明名称
摘要
申请公布号 DE2909840(B2) 申请公布日期 1981.07.23
申请号 DE19792909840 申请日期 1979.03.13
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 BEHN, DIPL.-PHYS., REINHARD;KAUFMANN, KURT, 8000 MUENCHEN, DE
分类号 C23C14/04;C23C14/56;H01G13/00;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
地址