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发明名称 WAFER HOLDER
摘要
申请公布号 JPS5650199(A) 申请公布日期 1981.05.07
申请号 JP19800090789 申请日期 1980.07.04
申请人 IBM 发明人 YOHANESU GURANDEIA;HIYUUGO ARUBAATO EMIRIO SANTEI;UIRIAMU JIYOOJI MAKUCHIESUNII;HARORUDO REON TAAKU
分类号 C30B19/06;C30B25/12;H01F41/28;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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