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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5650532(A) 申请公布日期 1981.05.07
申请号 JP19790125411 申请日期 1979.10.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSA YASUNOBU
分类号 H01L29/78;H01L21/033;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/32;H01L21/321;H01L21/762;H01L21/768 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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