发明名称 MICROWAVE PLASMA SURFACE PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS5641382(A) 申请公布日期 1981.04.18
申请号 JP19790116758 申请日期 1979.09.13
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YASUI TAKESHI;HIROSE MASAHIKO;YOTSUYANAGI MASAHIKO
分类号 C23F4/00;C23F1/08 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址