| 发明名称 |
Method of making semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2058731(A) |
申请公布日期 |
1981.04.15 |
| 申请号 |
GB19790031618 |
申请日期 |
1979.09.12 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC & ASSOCIATED INDUSTRIES LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;H01L21/316;(IPC1-7):C01B33/12 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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