发明名称 PHOTO-INDUCED TEMPERATURE GRADIENT ZONE MELTING
摘要 <p>Dans un procede de fusion de zone le gradiant de temperature est etabli sensiblement seulement a travers la zone de fusion (33) par chauffage preferentiel de la zone de fusion. Dans un mode specifique de realisation, le mecanisme de chauffage de la zone de fusion (33) consiste a exposer un substrat (31) a une radiation optique (32 ou 32 et 38) d'une longueur d'onde et d'une intensite pour lesquelles la zone de fusion est absorbante et le reste du corps transparent. La zone de fusion se deplace au travers du corps vers la source de radiations optiques.</p>
申请公布号 WO8100486(A1) 申请公布日期 1981.02.19
申请号 WO1980US00887 申请日期 1980.07.17
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人 JACKSON K;KIMERLING L;LEAMY H
分类号 H01L21/228;C30B13/00;C30B13/06;C30B13/10;C30B13/24;H01L21/24;(IPC1-7):01L21/228 主分类号 H01L21/228
代理机构 代理人
主权项
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