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发明名称
摘要
申请公布号 JPS563916(B2) 申请公布日期 1981.01.27
申请号 JP19760038383 申请日期 1976.04.05
申请人 发明人
分类号 H01J9/28;C23C22/07;C23D5/02 主分类号 H01J9/28
代理机构 代理人
主权项
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