发明名称 |
MANUFACTURE OF PRODUCT HAVING SILICEOUS FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS55167155(A) |
申请公布日期 |
1980.12.26 |
申请号 |
JP19790072636 |
申请日期 |
1979.06.08 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
HATSUSHIRO MASAHIKO;YAMAKAWA SEISHIROU;YAMADA NORIYUKI |
分类号 |
C03C17/34;C23C22/00;C23C22/60;C23C22/74;C23D5/00 |
主分类号 |
C03C17/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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