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发明名称 SURFACE TREATMENT OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS55153338(A) 申请公布日期 1980.11.29
申请号 JP19790061228 申请日期 1979.05.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OOMURA SOUJI
分类号 H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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