| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POLYKRISTALLINEM SILIZIUM UND EINRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DES VERFAHRENS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3016310(A1) |
申请公布日期 |
1980.11.20 |
| 申请号 |
DE19803016310 |
申请日期 |
1980.04.28 |
| 申请人 |
GENERAL INSTRUMENT CORP. |
发明人 |
HILL,LAWRENCE;GARBIS,DENNIS;HELLER,ROBERT;LONG ISLAND N Y |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/021;C23C16/01;H01L21/203;H01L21/208;(IPC1-7):C01B33/02;H01L31/18;H01L21/20 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
