| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING GLOW DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55138075(A) |
申请公布日期 |
1980.10.28 |
| 申请号 |
JP19790142696 |
申请日期 |
1979.11.02 |
| 申请人 |
TERITSUKU CORP |
发明人 |
ARAN SUKAADOBAAGU BENFUOORUDO;JIYON AREKUSANDAA SOONTON |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;C23C14/38;H01J37/34 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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