| 发明名称 |
ELECTRON BEAM RADIATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55133887(A) |
申请公布日期 |
1980.10.18 |
| 申请号 |
JP19790042317 |
申请日期 |
1979.04.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAMURA KAZUMITSU;HAYASHI SOUICHIROU |
| 分类号 |
H01J37/04;B23K15/00;G21K5/04;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/315;H01J37/317;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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