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发明名称
TREATING METHOD AT LOW PRESSURE
摘要
申请公布号
JPS55125270(A)
申请公布日期
1980.09.26
申请号
JP19790032293
申请日期
1979.03.22
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATOU SEIICHI
分类号
C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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