| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BEPALEN VAN DE DEELTJESSTROOM IN EEN INRICHTING VOOR HET IN VACUO AANBRENGEN VAN LAGEN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL163623(C) |
申请公布日期 |
1980.09.15 |
| 申请号 |
NL19740017049 |
申请日期 |
1974.12.31 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN, BALZERS, LIECHTENSTEIN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23C14/54;G01F1/66;G01F1/86;(IPC1-7):G01F1/86;C23C13/08;C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
