| 发明名称 |
MASK FOR VACUUM EVAPORATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55113319(A) |
申请公布日期 |
1980.09.01 |
| 申请号 |
JP19790149033 |
申请日期 |
1979.11.19 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP |
发明人 |
DERITSUKU JIEI PEEJI |
| 分类号 |
C23C14/04;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/44;H01L29/40;H01L29/417;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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