发明名称 CONDUCTEUR ELECTRIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL CONDUCTEUR
摘要 <P>L'INVENTION A POUR OBJET UN PROCEDE ET UN APPAREIL DE DEPOT D'UNE MATIERE CONDUCTRICE AMORPHE SOLIDE PAR DECHARGE AU PLASMA OU AUX EFFLUVES.</P><P>ON DEPOSE SUR UN SUBSTRAT 18 UNE PELLICULE D'UNE MATIERE CONDUCTRICE AMORPHE SOLIDE 48 QUI COMPREND NOTAMMENT UN POLYMERE DE NITRURE DE SOUFRE AMORPHE SN. ON EFFECTUE AVANTAGEUSEMENT LE DEPOT SULFHYDRIQUE HS, PAR DECHARGE AU PLASMA OU AUX EFFLUVES, DANS UN VIDE PARTIEL AYANT UNE ATMOSPHERE CONTENANT DE L'AMMONIAC OU DE L'AZOTE ET, LE CAS ECHEANT, DU FLUOR.</P>
申请公布号 FR2448213(A1) 申请公布日期 1980.08.29
申请号 FR19800002434 申请日期 1980.02.05
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC 发明人
分类号 C23C16/34;C23C16/505;H01B1/04;H01C17/12;H01L21/205;H01L31/0224;H01L31/04;H01L31/07;(IPC1-7):H01B3/14;C23C11/08;H01C7/00;H01C17/06 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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