摘要 |
<P>L'INVENTION A POUR OBJET UN PROCEDE ET UN APPAREIL DE DEPOT D'UNE MATIERE CONDUCTRICE AMORPHE SOLIDE PAR DECHARGE AU PLASMA OU AUX EFFLUVES.</P><P>ON DEPOSE SUR UN SUBSTRAT 18 UNE PELLICULE D'UNE MATIERE CONDUCTRICE AMORPHE SOLIDE 48 QUI COMPREND NOTAMMENT UN POLYMERE DE NITRURE DE SOUFRE AMORPHE SN. ON EFFECTUE AVANTAGEUSEMENT LE DEPOT SULFHYDRIQUE HS, PAR DECHARGE AU PLASMA OU AUX EFFLUVES, DANS UN VIDE PARTIEL AYANT UNE ATMOSPHERE CONTENANT DE L'AMMONIAC OU DE L'AZOTE ET, LE CAS ECHEANT, DU FLUOR.</P>
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