| 发明名称 |
SAMPLE HOLDER IN ELECTRON RAY EXPOSING DEVICE AND THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55107230(A) |
申请公布日期 |
1980.08.16 |
| 申请号 |
JP19790014035 |
申请日期 |
1979.02.09 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
TAMAI MAKOTO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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