发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL SELECTIVE GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS5595331(A) 申请公布日期 1980.07.19
申请号 JP19790003549 申请日期 1979.01.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITOU MICHIHARU;SHINOHARA KOUJI;YOSHIKAWA MITSUO
分类号 C30B19/12;C30B29/46;H01L21/208;H01L21/368;H01S5/00 主分类号 C30B19/12
代理机构 代理人
主权项
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