| 摘要 |
<P>LORS DU CHANGEMENT DE TYPE DE POUDRE, PAR EXEMPLE POUR LE DEPOT DE COUCHES SUR DIFFERENTS OBJETS OU PARTIES D'OBJETS, ON S'EXPOSE AU DANGER QUE LA NOUVELLE POUDRE SE MELANGE A DES RESTES DE LA POUDRE PRECEDEMMENT UTILISEE, EN CREANT AINSI DES DEFAUTS DANS LA REALISATION DES COUCHES.</P><P>ON EVITE CELA EN CE QUE: LES POUDRES SONT ACHEMINEES PAR DIFFERENTES CANALISATIONS D'AMENEE 13, 17; 14, 18 VERS UNE CANALISATION DE DISTRIBUTION COMMUNE 20 A L'ENTREE DE LAQUELLE ON OUVRE SEULEMENT LA CANALISATION D'AMENEE VOULUE, LES AUTRES ETANT FERMEES. LES CANALISATIONS SONT NETTOYEES PAR DU GAZ DE BALAYAGE EN AVAL DE LEUR DISPOSITIF DE FERMETURE 15, 16.</P>
|
