发明名称 APPARATUS FOR INDIFFUSING IMPURITY IN SEMICONDUCTOR MEMBERS
摘要
申请公布号 US3492969(A) 申请公布日期 1970.02.03
申请号 USD3492969 申请日期 1967.02.24
申请人 SIEMENS AG. 发明人 REIMER EMEIS
分类号 C22F1/00;C22F1/16;C30B31/10;H01L21/00;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C22F1/00
代理机构 代理人
主权项
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