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发明名称 SHAPE INSPECTION UNIT
摘要
申请公布号 JPS5569008(A) 申请公布日期 1980.05.24
申请号 JP19780142340 申请日期 1978.11.20
申请人 INOUE JAPAX RES 发明人 INOUE KIYOSHI
分类号 G01B5/20;G01B5/008;G01B21/00;G01B21/20 主分类号 G01B5/20
代理机构 代理人
主权项
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