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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5552239(A) 申请公布日期 1980.04.16
申请号 JP19780125179 申请日期 1978.10.13
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OKUTSU KINNOSUKE
分类号 H01L21/3205;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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