| 发明名称 |
DEVICE FOR PREVENTING SEMICONDUCTOR DEVICE FROM CONTAMINATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5546576(A) |
申请公布日期 |
1980.04.01 |
| 申请号 |
JP19780120765 |
申请日期 |
1978.09.30 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
ETSUNO YUTAKA;OOSHIMA JIROU;KINO HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/02;H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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