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发明名称 SPUTTER DEPOSITION ON AN IRREGULAR SURFACE
摘要
申请公布号 GB1269408(A) 申请公布日期 1972.04.06
申请号 GB19690033300 申请日期 1969.07.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23C14/40;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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