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发明名称 MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5529171(A) 申请公布日期 1980.03.01
申请号 JP19780103066 申请日期 1978.08.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OOGA HIROTOMO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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