| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5515286(A) |
申请公布日期 |
1980.02.02 |
| 申请号 |
JP19780089064 |
申请日期 |
1978.07.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAGAWA KEIICHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/322;H01L21/324;H01L21/331;H01L29/30 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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