| 发明名称 |
DRY ETCHING PROCESS USING PLASMA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE791450(L) |
申请公布日期 |
1980.01.31 |
| 申请号 |
IE19790001450 |
申请日期 |
1979.08.08 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C09K13/00;C23F1/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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