发明名称 SELECTIVE ETHCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS556429(A) 申请公布日期 1980.01.17
申请号 JP19780077286 申请日期 1978.06.26
申请人 TANPO RIYUUJI;KATO TAKAAKI 发明人 TANPO RIYUUJI;KATOU TAKAAKI
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
地址