发明名称 PRODUCING METHOD FOR SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS551171(A) 申请公布日期 1980.01.07
申请号 JP19790032310 申请日期 1979.03.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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