发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0165999(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950034838 申请日期 1995.10.11
申请人 NEC CORPORATION 发明人 INOUE, AKIRA;MIYAMOTO, HIDENOBU;SEKINE, MAKOTO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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