| 发明名称 |
METHOD OF FORMING THIN FILM ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54161065(A) |
申请公布日期 |
1979.12.20 |
| 申请号 |
JP19780070505 |
申请日期 |
1978.06.12 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
IDE KIYOUZOU;OBARA MASAO |
| 分类号 |
H05K3/06;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H05K3/00 |
主分类号 |
H05K3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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