发明名称 |
PROCEDIMENTO ED APPARECCHIO PER LAPRODUZIONE DI CRISTALLI DI SILICIO MEDIANTE ACCRESCIMENTO |
摘要 |
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申请公布号 |
IT7969384(D0) |
申请公布日期 |
1979.12.12 |
申请号 |
IT19790069384 |
申请日期 |
1979.12.12 |
申请人 |
CRYSTAL SYSTEMS INC. |
发明人 |
FREDERICK SCHMID;CHANDRA P. KHATTAK |
分类号 |
C30B29/06;C30B11/00;C30B17/00;H01L21/208;(IPC1-7):C01B/ |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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