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发明名称 METHOD OF DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPS54126471(A) 申请公布日期 1979.10.01
申请号 JP19780033906 申请日期 1978.03.24
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 TAKEUCHI HIROSHI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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