| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54123025(A) |
申请公布日期 |
1979.09.25 |
| 申请号 |
JP19780030539 |
申请日期 |
1978.03.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CHEM IND |
发明人 |
MIURA KONOE;SHIMIZU SHIGEKI;OOSHIMA AKINOBU |
| 分类号 |
G03F7/038;C08L101/00;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G03F7/038 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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